电子工业超纯水处理的应用
电子工业超纯水简介:半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质分为5个行业标准,分别为18MΏ.cm、15MΏ.cm、10MΏ.cm、2MΏ.cm、0.5MΏ.cm,以区分不同水质,同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的不同要求。
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应用场合: |
电子工业用超纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
1、离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,
原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式
原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→混床→后置精密过滤器→纯水箱→用水点
3、反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺。
原水→沙、碳过滤器→保安过滤器→一级反渗透设备→原水箱→二级反渗透设备→纯水泵→电去离子(EDI)→纯水箱→输送泵→UV灯→精混→精密过滤器→用水点
4、反渗透+混合床方式
原水→原水加压泵→砂、碳过滤器→保安过滤器→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔过滤器→用水点
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